Серия мишеней из редкоземельных металлов и сплавов высокой чистоты - мишень из скандия (Sc)
Чистота :2N5~3N5(абсолютная чистота)
Способ упаковки : вакуумная упаковка, бумажная коробка или запечатывание авиационных коробок
Стандартная модель:
|
Стандартный |
Стандарт редкоземельных металлов провинции Хунань |
|||
|
Оценка |
Sc-3Na5-T |
Sc-3Na-T |
Sc-2Na5-T |
|
|
Sc, не менее(%) |
99.95 |
99.9 |
99.5 |
|
|
Sc/RE, не менее (%) |
99.999 |
99.99 |
99.95 |
|
|
Содержание примесей не должно превышать (ppm) |
Ал |
30 |
50 |
100 |
|
Си |
20 |
30 |
50 |
|
|
Фе |
50 |
120 |
200 |
|
|
Калифорния |
30 |
50 |
100 |
|
|
Cu |
20 |
30 |
50 |
|
|
Кр |
10 |
30 |
50 |
|
|
Ни |
50 |
80 |
150 |
|
|
Мин. |
20 |
30 |
50 |
|
|
Та |
20 |
30 |
50 |
|
|
W |
10 |
20 |
30 |
|
|
C |
100 |
150 |
300 |
|
|
O |
200 |
300 |
500 |
|
|
Режим ожидания |
Соединение индиевым припоем |
|||
|
Типичные характеристики |
Квадратная мишень |
101,6*101,6*6 мм, 270*120*6 мм, 320*100*8 мм |
||
|
Круглая мишень |
50,8*5 мм, 76,2*5 мм, 101,6*5 мм, 203,2*6 мм, 327,7*5 мм, 332*7 мм |
|||
Применение продукта:
Он используется для изготовления пьезоэлектрических пленок AlScN для ВЧ-устройств и МЭМС методом двухмишенного магнетронного распыления PVD, а также нового поколения сегнетоэлектрических пленок AlScN для хранения.
Технические преимущества:
1. Использование металлического скандия высокой чистоты в качестве сырья, чистота продукта достигает 3N5, строгий контроль примесей, O≤200ppm, Fe≤100ppm;
2. Средний размер зерна < 200 микрон;
3. Поддержка производства нестандартных размеров на заказ.

EN
NL
FR
DE
JA
KO
PT
RU
ES
TR

